中小型外接氣源臭氧機在生產用水的殺菌淨化作用,臭氧在水中對細菌、病毒、微生物等殺滅率更高、速率迅速,對水裏有機物等汙染物質除去完全,而又不造成二次汙染。這對食品工業用水有尤其意義。一般生產用水選用氯製劑開展消毒,因為水源遭受分析化學物質汙染日益嚴重,氯製劑消毒之後造成氯仿、二氯乙烷、四氯化碳等氯化有機物,這種物質具備致癌性,因此歐盟我國已禁止使用氯係列高效消毒藥物,日本也將逐漸禁止使用。而臭氧消毒解決後不造成二次汙染化合物,且臭氧對病菌的殺滅率比氯製劑更高,殺滅速率大約是氯製劑的300-600倍。尤其在預冷消毒中,克服了次氯酸鈉消毒後氯殘餘的缺陷,能夠高效、經濟、簡單的殺滅病菌。目前有些應用巴氏消毒法,但又追求食品外觀美觀的食品行業,已經試著用臭氧消毒來替代巴氏消毒。